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中製首座电子束光刻机「羲之」问市精度达0.6奈米

作者：来源：热度：860 时间：2025-08-15

近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，中国首台国产商业电子束光刻机「...

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